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真空泵
COBRA DS 3010/3161 C/G 干式螺杆真空泵
COBRA DS 3010/3161 C/G
干式螺杆真空泵
性能出色
先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用
高效
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上
技术规格
| 技术参数 | COBRA DS 3010 G | COBRA DS 3161 C |
|---|---|---|
| 额定抽速 | 3200 m³/h | 3200 m³/h |
| 极限压力 | 0.001 hPa (mbar) | 0.001 hPa (mbar) |
| 前级泵电机额定功率 | 15 kW | 15 kW |
| 罗茨真空泵电机额定功率 | 15 kW | 15 kW |
| 功耗（怠速模式） | 9.9 kW | 9.9 kW |
| 极限压力时的功耗 | 11.8 kW | 11.8 kW |
| 前级泵电机额定转速 | 3600 min⁻¹ | 3600 min⁻¹ |
| 罗茨真空泵电机额定转速 | 5400 min⁻¹ | 5400 min⁻¹ |
| 声压级（ISO 2151），KpA = 3 dB | < 75 dB(A) | < 75 dB(A) |
| 耗水量 | 10 l/min | 10 l/min |
| 氮气消耗量 | 0 – 200 l/min | 0 – 200 l/min |
| 重量（约） | 1500 kg | 1375 kg |
| 尺寸（L x W x H） | 1420 x 722 x 1452 mm | 1316 x 633 x 1249 mm |
| 进气口 | DN 160 | DN 160 |
| 排气口 | DN 63 | DN 63 |
尺寸图
COBRA DS 3010/3161 C/G
抽速
空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%
市场和应用
显示器
- Load lock 腔体
半导体
- LPCVD / 扩散
- 高流量应用
- Si Poly etch
- PECVD
- 金属和高 K 蚀刻
- ALD
太阳能
- 电池制造