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真空泵
COBRA DS 0600 E 干式螺杆真空泵
COBRA DS 0600 E
干式螺杆真空泵
性能出色
先进的螺杆设计，出色的运行品质，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用
高效
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机
技术规格
| 技术参数 | COBRA DS 0600 E |
|---|---|
| 额定抽速 | 600 m³/h |
| 极限压力 | 0.01 hPa (mbar) |
| 电机额定功率 | 15 kW |
| 极限压力时的功耗 | 9 kW |
| 电机额定转速 | 3600 min⁻¹ |
| 声压级（ISO 2151），KpA = 3 dB | < 70 dB(A) |
| 耗水量 | 6 l/min |
| 氮气消耗量 | 0 – 200 l/min |
| 重量（约） | 745 kg |
| 尺寸（L x W x H） | 1654 x 600 x 747 mm |
| 进气口 | DN 100 |
| 排气口 | DN 63 |
尺寸图
COBRA DS 0600 E
抽速
空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%
市场和应用
半导体
- LPCVD / 扩散
- Si Poly etch
- PECVD
- 金属和高 K 蚀刻
- ALD
配件
适用于严苛应用的 Tantal 涂层