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真空泵
COBRA DS 2141 A 干式螺杆真空泵
COBRA DS 2141 A
干式螺杆真空泵
性能出色
先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，强劲的粉末处理能力，非常适用于半导体应用、平板显示器生产及太阳能应用
效率高
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，出色水冷却，高氢气吞吐量，变温控制，低振动水平
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机，集成控制面板，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上
技术规格
| 技术参数 | COBRA DS 2141 A |
|---|---|
| 额定抽速 | 1875 m³/h |
| 极限压力 | 0.003 hPa (mbar) |
| 前级泵电机额定功率 | 7.9 kW |
| 罗茨真空泵电机额定功率 | 4.0 kW |
| 极限压力时的功耗 | 5.0 kW |
| 前级泵电机额定转速 | 4320 min⁻¹ |
| 罗茨真空泵电机额定转速 | 5400 min⁻¹ |
| 声压级（ISO 2151），KpA = 3 dB | < 75 dB(A) |
| 耗水量 | min. 7,0 – 8,0 l/min |
| 氮气消耗量 | 0 – 75 l/min |
| 重量（约） | 600 kg |
| 尺寸（L x W x H） | 1133 x 425 x 954 mm |
| 进气口 | DN 160 |
| 排气口 | DN 50 |
尺寸图
COBRA DS 2141 A
抽速
空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%
市场和应用
半导体
- LPCVD / 扩散
- Si Poly etch
- PECVD
- 金属和高 K 蚀刻
- ALD
太阳能
- 电池制造
- 硅锭拉拔