真空泵

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干式螺杆真空泵

性能出色

先进的螺杆设计，钟形悬臂结构，荣获专利的自平衡螺杆，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于冷原子层沉积工艺、load lock 腔和传送腔、计量、平版印刷术、物理气相沉积、快速热退火以及和蚀刻工艺（如氧化物、硅和金属）等等

高效

拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，直接水冷却

结构紧凑

密闭式设计，直联的罐装电机，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上

技术参数	COBRA BC 0601 G	COBRA BC 1001 G	COBRA BC 1200 A
额定抽速	550 m³/h	870 m³/h	1200 m³/h
极限压力	0.003 hPa (mbar)	0.003 hPa (mbar)	0.003 hPa (mbar)
前级泵电机额定功率	1.5 kW	1.5 kW	1.5 kW
罗茨真空泵电机额定功率	1.5 kW	2.9 kW	4.0 kW
功耗（怠速模式）	1.35 kW	1.2 kW	1.3 kW
极限压力时的功耗	1.25 kW	1.7 kW	1.9 kW
前级泵电机额定转速	3000 min⁻¹	3000 min⁻¹	3000 min⁻¹
罗茨真空泵电机额定转速	3000 min⁻¹	5400 min⁻¹	5400 min⁻¹
声压级（ISO 2151），KpA = 3 dB	60 dB(A)	60 dB(A)	60 dB(A)
耗水量	min. 3,0 – 4,0 l/min	min. 3,0 – 4,0 l/min	min. 4,0 – 5,0 l/min
氮气消耗量	0 – 70 l/min	0 – 70 l/min	0 – 70 l/min
重量（约）	325 kg	325 kg	350 kg
尺寸（L x W x H）	905 x 354 x 660 mm	1054 x 425 x 615 mm	1054 x 425 x 615 mm
进气口	DN 63 ISO-K	DN 100 ISO-K	DN 160 ISO-K
排气口	DN 40 ISO-KF	DN 40 ISO-KF	DN 40 ISO-KF

COBRA BC 0601–1200 A/G

空气温度为 20°C 时，公差：± 10%

半导体