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真空泵
COBRA DS 0080/0160 G 干式螺杆真空泵
COBRA DS 0080/0160 G
干式螺杆真空泵
性能出色
先进的螺杆设计，出色的运行品质，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用
高效
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机
技术规格
| 技术参数 | COBRA DS 0080 G | COBRA DS 0160 G |
|---|---|---|
| 额定抽速 | 70 m³/h | 140 m³/h |
| 极限压力 | 0.03 hPa (mbar) | 0.03 hPa (mbar) |
| 电机额定功率 | 4.0 kW | 5.5 kW |
| 极限压力时的功耗 | 2.6 kW | 4.3 kW |
| 电机额定转速 | 3000 min⁻¹ | 3000 min⁻¹ |
| 声压级（ISO 2151），KpA = 3 dB | < 62 dB(A) | < 68 dB(A) |
| 耗水量 | 4.0 l/min | 4.0 l/min |
| 氮气消耗量 | 0 – 75 l/min | 0 – 75 l/min |
| 重量（约） | 276 kg | 338 kg |
| 尺寸（L x W x H） | 865 x 385 x 667 mm | 975 x 425 x 697 mm |
| 进气口 | DN 40 | DN 50 |
| 排气口 | DN 40 | DN 40 |
尺寸图
COBRA DS 0080/0160 G
抽速
空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%
市场和应用
半导体
- LPCVD / 扩散
- Si Poly etch
- PECVD
- 金属和高 K 蚀刻
- ALD