产品中心
Product
产品中心
PRODUCTS CENTER
真空泵
COBRA BC 0101 G 干式螺杆真空泵
COBRA BC 0101 G
干式螺杆真空泵
性能出色
先进的螺杆设计，钟形悬臂结构，荣获专利的自平衡螺杆，出色的运行品质，非常适用于 load lock 腔和传送腔、计量、平版印刷术、物理气相沉积以及快速热退火等应用
高效
智能变速驱动装置，拥有成本低，维护少，正常运行时间长，直接水冷却
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机，集成控制面板
技术规格
| 技术参数 | COBRA BC 0101 G |
|---|---|
| 额定抽速 | 90 m³/h |
| 极限压力 | 0.01 hPa (mbar) |
| 电机额定功率 | 1.5 kW |
| 极限压力时的功耗 | 0.7 kW |
| 电机额定转速 | 3000 min⁻¹ |
| 声压级（ISO 2151），KpA = 3 dB | 58 dB(A) |
| 耗水量 | 1.0 l/min |
| 重量（约） | 125 kg |
| 尺寸（L x W x H） | 520 x 300 x 340 mm |
| 进气口 | DN 50 KF |
| 排气口 | DN 40 KF |
尺寸图
COBRA BC 0101 G
抽速
空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%
市场和应用
半导体
- 剥离 / 灰化
- Si Poly etch
- 离子注入
- 氧化物蚀刻
- 钴、WCVD、TiN 和 TDMAT