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IRG080 电离真空计的新标准。

产品咨询:

IRG080

电离真空计的新标准。

离子基准真空计 IRG080 是专为在真空系统中精确测量总压而开发的首款真空传感器。IRG080 基于创新的电离真空计概念(热阴极发射电子以直线路径进入法拉第杯),适用于 10-8 mbar 至 10-4 mbar 范围内的参考标准。

IRG080 具有无与伦比的精度(低至 1%)、可预测的气体灵敏度(极小的差值)、极好的短期重复性和再现性。该仪器是计量和校准的理想解决方案。IRG080 由 IRC081 显示和操作单元连接和控制。

优势

  • 专为在高真空和超高真空范围内要求高测量精度的应用而开发

  • 电极系统配置符合 ISO TS 6737 标准

  • 相对气体灵敏度可预测,不确定性小,可测量所有气体种类的真实压力

  • 电子发射稳定,不受 ESD 或 X 射线效应的影响

  • 可重复,易于运输

  • 烘烤温度可达 165 °C(带耐温电缆),不带连接器单元时烘烤温度可达 400 °C

  • 可提供用于磁屏蔽的 Mu 金属中间件

运营单元

  • 离子参考计控制器 IRC081

参考标准

  • 氮气精度低于 1

  • 可预测的气体灵敏度,误差极小(<1.5)

  • 真正的总压测量

  • 极佳的短期重复性(<1%)和再现性(<1)

测量原理

电子离开阴极(左侧),被阳极加速到 200 eV,然后被离子收集器聚焦。电子路径的长度具有良好的特性,因此仪器的灵敏度是可以预测的。电子在阳极栅内产生的离子被加速到收集器,并以电流形式测量。阳极栅外产生的离子会被偏转器捕获。

一个完整的套餐

规格

测量系统热阴极电离


电极系统配置根据 ISO TS 6737


使用 IRC081 控制器的测量范围(N2)<1×10-8 … 1×10-4  毫巴


灵敏度(N2,典型值)29  毫巴-1


精度(N2,典型值)读数的 <±1% 


重复性(N2)读数的 <1% 


馈通氧化铝陶瓷


烘烤温度≤400 °C


暴露在真空中的材料不锈钢, NiFeCo, Al2O3, Ta, W

部件编号

部件编号
配件

IRG080
399-874IRG080 DN 63 CF-R,BNC 和多芯连接器
399-875IRG080 DN 63 CF-F,BNC 和多芯连接器,金属中间件
部件编号
配件

符合 IRC081 标准的耐热测座电缆,带接触保护装置
至 IRG080 165 °C
399-8835 m (16.4 ft)
399-88410 m (32 ft)
399-88515 m (49.5 ft)


399-890替换阴极
399-891金属中间件,DN 63 CF-F
399-892中间件保护网