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真空泵
HiPace 300 Plus 涡轮分子真空泵
HiPace 300 Plus
涡轮分子真空泵

可靠
同类产品中最佳的混合轴承技术,使用寿命长,正常运行时间长
低杂散磁场
高分辨率电子显微镜等高灵敏度应用的理想之选
静音
得益于内置轴承搭配专利激光平衡技术,实现低噪音和振动水平
技术规格
| 技术参数 | HiPace 300 Plus |
|---|---|
| 氢气抽速 | 220 l/s |
| 氦气抽速 | 255 l/s |
| 氩气抽速 | 255 l/s |
| 氮气抽速 | 260 l/s |
| 氢气压缩比 | 9 · 10⁵ |
| 氦气压缩比 | 1 · 10⁸ |
| 氩气压缩比 | 1 · 10¹¹ |
| 氮气压缩比 | 1 · 10¹¹ |
| 最终转速下的氢气气体流量 | 14 hPa l/s |
| 最终转速下的氦气气体流量 | 8 hPa l/s |
| 最终转速下的氩气气体流量 | 2 hPa l/s |
| 最终转速下的氮气气体流量 | 5 hPa l/s |
| 适用于氮气的最大前级真空 | 15 hPa |
| 启动时间 | 3.5 最小 |
| 可选通信接口 | Profibus、Devicenet、Semi E74 |
| 标准通信接口 | RS-485,远程 |
| 安装方向 | 0°(高压法兰顶部) |
| 声压级(EN ISO 2151) | 50 dBA |
| 重量(约) | 5.8 kg |
| 进气口 | DN 100 ISO-K/ISO-F/CF-F |
| 排气口 | DN 16 ISO-KF /G 1/4" |
抽速
