真空泵

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涡轮分子真空泵

可靠

同类产品中最佳的混合轴承技术，卓越的轴承润滑，使用寿命长

性能卓越

优化转子几何形状，提高气体负载处理能力

静音

得益于专利激光平衡技术，实现低噪音和振动水平，非常适合对振动敏感的应用

技术参数	HiPace 350，DN 100 ISO-K	HiPace 450，DN 160 ISO-K
氢气抽速	300 l/s	330 l/s
氦气抽速	350 l/s	380 l/s
氩气抽速	270 l/s	350 l/s
氮气抽速	300 l/s	380 l/s
氢气压缩比	2 · 10⁶	2 · 10⁶
氦气压缩比	1 · 10⁸	1 · 10⁸
氩气压缩比	1 · 10¹¹	1 · 10¹¹
氮气压缩比	1 · 10¹¹	1 · 10¹¹
最终转速下的氢气气体流量	11 hPa l/s	11 hPa l/s
最终转速下的氦气气体流量	7 hPa l/s	7 hPa l/s
最终转速下的氩气气体流量	0.7 hPa l/s	0.7 hPa l/s
最终转速下的氮气气体流量	2 hPa l/s	2 hPa l/s
适用于氮气的最大前级真空	10 hPa	10 hPa
启动时间	5.3 最小	5.3 最小
可选通信接口	Profibus、Profinet、Ethercat、Devicenet、Semi E74	通过 CIP 适配器实现 EtherCAT 和 Profinet 通信
标准通信接口	RS-485，远程	RS-485，远程
安装方向	任意	任意
声压级（EN ISO 2151）	50 dBA	50 dBA
重量（约）	7.2 kg	7 kg
进气口	DN 100 ISO-K/ISO-F/CF-F	DN 160 ISO-K/ISO-F/CF-F
排气口	DN 16 ISO-KF /G 3/8"	DN 16 ISO-KF /G 3/8"