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真空泵
HiPace 300 涡轮分子真空泵
HiPace 300
涡轮分子真空泵
可靠
同类产品中最佳的混合轴承技术，卓越的轴承润滑，使用寿命长
静音
得益于专利激光平衡技术，实现低噪音和振动水平，非常适合对振动敏感的应用
性能卓越
优化转子几何形状，提高气体负载处理能力
技术规格
| 技术参数 | HiPace 300，搭配 TC 110 | HiPace 300，搭配 TC 400 |
|---|---|---|
| 氢气抽速 | 220 l/s | 220 l/s |
| 氦气抽速 | 255 l/s | 255 l/s |
| 氩气抽速 | 255 l/s | 255 l/s |
| 氮气抽速 | 260 l/s | 260 l/s |
| 氢气压缩比 | 9 · 10⁵ | 9 · 10⁵ |
| 氦气压缩比 | 1 · 10⁸ | 1 · 10⁸ |
| 氩气压缩比 | 1 · 10¹¹ | 1 · 10¹¹ |
| 氮气压缩比 | 1 · 10¹¹ | 1 · 10¹¹ |
| 最终转速下的氢气气体流量 | 14 hPa l/s | 14 hPa l/s |
| 最终转速下的氦气气体流量 | 8 hPa l/s | 20 hPa l/s |
| 最终转速下的氩气气体流量 | 2 hPa l/s | 7 hPa l/s |
| 最终转速下的氮气气体流量 | 5 hPa l/s | 14 hPa l/s |
| 适用于氮气的最大前级真空 | 15 hPa | 20 hPa |
| 启动时间 | 3.5 最小 | 1.8 最小 |
| 可选通信接口 | Profibus、Devicenet、Semi E74 | Profibus、Profinet、Ethercat、Devicenet、Semi E74 |
| 标准通信接口 | RS-485，远程 | RS-485，远程 |
| 安装方向 | 任意 | 任意 |
| 声压级（EN ISO 2151） | 50 dBA | 50 dBA |
| 重量（约） | 6.2 kg | 6.7 kg |
| 进气口 | DN 100 ISO-K/ISO-F/CF-F | DN 100 ISO-K/ISO-F/CF-F |
| 排气口 | DN 16 ISO-KF /G 1/4" | DN 16 ISO-KF /G 1/4" |
抽速
市场和应用
车辆及运输
- 热处理
- 泄漏检测和 EoL 测试
- 太空探索
- 电子束焊
- 3D 打印
电池
- 泄漏检测和 EoL 测试（主控）
化学品
- 实验室真空
氢能经济
- 泄漏检测和 EoL 测试（主控）
医疗
- 实验室真空
- 质谱仪
冶金
- 电子束焊
- 真空铜焊 / 钎焊
- 3D 打印
- 热处理
制药与生物技术
- 实验室真空
发电
- 绿色能源生产
研发
- 高能物理
- 太空探索
- 超高真空
- 低温工程
- 等离子体物理
- 实验室真空
- 质谱分析
制冷和空调
- 泄漏检测和 EoL 测试
科学仪器
- 质谱分析
- 表面分析
半导体
- LPCVD / 扩散
- 剥离 / 灰化
- PVD
- 检验与计量
- Si Poly etch
- 轻沉积
- 离子注入
- PECVD
- 光刻技术
- 金属和高 K 蚀刻
- 氧化物蚀刻
- Load lock 和 传输
- ALD
技术气体
- 装瓶
薄膜镀层
- 实验室涂层
配件
电气适配器
电源线
连接电缆
各种现场总线系统
电源套件和显示装置
安装套件
安全阀
排气配件
排气装置电源故障
减振器