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真空泵
HiPace 80 Neo 涡轮分子真空泵
HiPace 80 Neo
涡轮分子真空泵
坚固耐用
集成转子测温系统，在整个热运行范围内均性能可靠
静音
得益于专利激光平衡技术，实现低噪音和振动水平，非常适合对振动敏感的应用
灵活
易于集成到小型分析系统中，重量轻，便于携带
技术规格
| 技术参数 | HiPace 80 Neo，搭配 TC 80 |
|---|---|
| 氢气抽速 | 48 l/s |
| 氦气抽速 | 58 l/s |
| 氩气抽速 | 66 l/s |
| 氮气抽速 | 67 l/s |
| 氢气压缩比 | 1.4 · 10⁵ |
| 氦气压缩比 | 1.3 · 10⁷ |
| 氩气压缩比 | 1 · 10¹¹ |
| 氮气压缩比 | 1 · 10¹¹ |
| 最终转速下的氢气气体流量 | 15.3 hPa l/s |
| 最终转速下的氦气气体流量 | 2.7 hPa l/s |
| 最终转速下的氩气气体流量 | 0.54 hPa l/s |
| 最终转速下的氮气气体流量 | 1.3 hPa l/s |
| 适用于氮气的最大前级真空 | 22 hPa |
| 启动时间 | 1.25 最小 |
| 可选通信接口 | 通过 CIP 适配器实现 EtherCAT 和 Profinet 通信 |
| 标准通信接口 | RS-485，远程 |
| 安装方向 | 任意 |
| 声压级（EN ISO 2151） | 48 dBA |
| 重量（约） | 1.7 kg |
| 进气口 | DN40/DN 63 ISO-K/ISO-KF/CF-F |
| 排气口 | G 1/4" |
抽速
市场和应用
车辆及运输
- 泄漏检测和 EoL 测试
- 太空探索
- 3D 打印
电池
- 泄漏检测和 EoL 测试（主控）
化学品
- 实验室真空
氢能经济
- 泄漏检测和 EoL 测试（主控）
医疗
- 实验室真空
- 质谱仪
冶金
- 3D 打印
制药与生物技术
- 实验室真空
发电
- 绿色能源生产
研发
- 高能物理
- 光子学研究
- 太空探索
- 超高真空
- 低温工程
- 等离子体物理
- 实验室真空
- 质谱分析
制冷和空调
- 泄漏检测和 EoL 测试
科学仪器
- 质谱分析
- 表面分析
- 电子显微镜
半导体
- LPCVD / 扩散
- 剥离 / 灰化
- PVD
- 检验与计量
- Si Poly etch
- 轻沉积
- 离子注入
- PECVD
- 光刻技术
- 金属和高 K 蚀刻
- 氧化物蚀刻
- Load lock 和 传输
- ALD
技术气体
- 装瓶
薄膜镀层
- 装饰涂层
- 实验室涂层
- 耐磨损涂层
配件
电气适配器
电源线
连接电缆
CIP 适配器
电源套件和显示装置
压力传感器
安装套件
安全阀
排气配件
排气装置电源故障
减振器