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ASM 390/392氦质谱检漏仪
ASM
检漏仪
Pfeiffer 普发的 ASM 系列示踪气体检漏仪专为满足多种多样的应用以及不同的需求而精心设计。该系列产品包括轻便且便携的设备，如适用于研发应用的设备，以及可集成到检漏系统中的模块化和嗅探式设备。
我们的 ASM 检漏仪能够准确定位和量化泄漏，提高整体工艺的输出质量、效率和可靠性。无论是半导体制造业，还是航空领域，几乎各个行业都能看到它的身影。
ASM 390/392
智能且用户友好
性能优异，测试速度快
符合人体工学设计且易于操控
ASM 390/392 系列的优势
ASM 390 和 ASM 392 是针对半导体、平板显示器行业以及其他对抽真空时间要求极短且对灵敏度要求极高的应用领域的理想泄漏检测解决方案。这两款设备完全符合 Semi S2 标准。
它们均配备了强劲的高真空泵和干式前级泵，对于那些必须保证无油运行的清洁环境而言，是进行泄漏检测的理想工具。ASM 392 还额外配备了涡轮分子真空泵，进一步加快了泄漏测试流程，减少了生产停机时间。
ASM 390 和 ASM 392 基于同一平台打造，具有独特的人体工程学设计，其尺寸适中，提供了舒适的工作高度，前部设有辅助手柄，配备可完全旋转、可拆卸的彩色显示屏，前部设有进气口，便于与测试端口连接。即便处于狭窄空间内，也能便捷地触及所有的测试区域。
集成的工具箱和真空波纹管存储空间确保了快速、无障碍泄漏测试所需的所有设备始终触手可及。直观的用户菜单支持设置密码保护功能，可有效避免误操作的发生。此外，ASM 设备可选配接口板，通过外部装置（PC 或 PLC）实现自动化
ASM 390
ASM 390 产品系列经过优化，可在所有测量范围内实现快速、准确的泄漏测试。它将高抽速、高灵敏度以及良好的移动性巧妙结合，同时尽可能地缩小了设备的占地面积。氦气抽速可达 10 l/s，响应速度快
抽速达 35 m3/h，采用无油 ACP 前级泵
最大测试压力为 20 hPa (mbar)，能够快速进入测量模式，并且设有专门用于检测较大泄漏的大流量模式
ASM 392
ASM 392 产品系列具有出色性能，灵敏度高且检测精度精准。ASM 392 与 ASM 390 基于同一平台打造，还额外配备了涡轮分子真空泵，可在不影响占地面积和移动性的前提下加快泄漏检测流程。
25 l/s 的氦气抽速，响应速度更快
抽速达 35 m3/h，采用无油 ACP 前级泵
最大测试压力为 20 hPa (mbar)，能够快速进入测量模式，并且设有专门用于检测较大泄漏的大流量模式