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真空计和控制器
电容式压力计 Stripe® CDG100Dhs 100°C温控，满量程0.1 ... 1000 Torr / mbar
电容式压力计
Stripe® CDG100Dhs
100°C温控，满量程0.1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON Stripe 高速电容式隔膜真空计目前是最快速、高度准确的真空测量仪器。响应时间不到 2 ms，配备 EtherCAT 现场总线接口，开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有无与伦比的零位稳定性。Stripe 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。INFICON Stripe 使用创新的加热概念，提供冰凉的接触表面和独特的速度性能, 可实现提升史无前例的生产力, 使其成为同类产品中最先进的真空仪器。
好处
高生产力 - 响应时间快于 2 ms
灵活集成 - EtherCAT 现场总线
使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器
忘记重新校准 - 90ppm/年全方位稳定性
典型应用
原子层沉积
高速过程控制
PVD、CVD、蚀刻
一般高温真空应用
技术规格
1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 2 ... 20 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 2 ... 20 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.4 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 2 ... 20 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |