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真空计和控制器
电容式压力计 Edge® CDG100D2 100°C温控，满量程1 ... 1000 Torr / mbar
电容式压力计
Edge® CDG100D2
100°C温控，满量程1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON Edge 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的极其准确的真空测量仪表。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有无与伦比的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。先进的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节，另外还有 EtherCAT 现场总线接口可供选择。创新的加热概念能够使接触表面保持低温，并节约宝贵的工具空间。INFICON Edge 是同类产品中最小的真空测量仪器。
优势
紧凑型，节省宝贵的工具空间
易于集成，各种满刻度、法兰，标配两个设定点
轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
诊断端口便于快速服务与维护
两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准
合规和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型应用
CVD、蚀刻、PVD 及其他半导体生产过程
技术规格
1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |