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真空计和控制器
电容式压力计 SKY® CDG100D 100°C温控，满量程0.1 ... 1000 Torr / mbar
电容式压力计
SKY® CDG100D
100°C温控，满量程0.1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON SKY CDG100D 压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG100D 真空计温度控制在 100 °C，具有卓越的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质卓越，极具成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
优势
拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
诊断端口便于快速服务与维护
两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准
合规和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型应用
蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
化学和腐蚀性高温过程
需要真空计保护的一般薄膜和真空过程
规格
1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.4 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 130 / 30 (3) |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |