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PRODUCTS CENTER热电离真空计 BAG302 中到超高真空真空计
热电离真空计
BAG302
中到超高真空真空计
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）的广泛测量范围。紧凑型一体化热电离真空计 BAG302 能够轻松地更换双丝极传感器、内置 OLED 显示器、设定点继电器和对数线性模拟输出以及集成 RS485 数字接口，提高了集成灵活性。这些功能配以坚固的设计，使 BAG302 为其自身的基本压力测量仪器带来经济且可重复的过程，并提供高价值/低拥有成本的选择。
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）的广泛测量范围。紧凑型一体化热电离真空计 BAG302 能够轻松地更换双丝极传感器、内置 OLED 显示器、设定点继电器和对数线性模拟输出以及集成 RS485 数字接口，提高了集成灵活性。这些功能配以坚固的设计，使 BAG302 为其自身的基本压力测量仪器带来经济且可重复的过程，并提供高价值/低拥有成本的选择。
好处
测量范围从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）
双标准长使用寿命氧化钇铱丝
一体式主动测量仪，内置显示器、设定点、模拟输出和标准集成式 RS485 数字接口
带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏，简化设置、操作和编程
用户可编程的设定点继电器
用户可编程的显示器单位：mbar、Torr 或 Pa
用户可选的发射电流自动设换范围
机械强度和坚固性
各种法兰的选择
易于更换的传感元件
合规和标准：CE、RoHS
直接取代 Granville-Phillips® 354 Micro-Ion® 模块 – 包括软件命令在内的相同控制功能 (RS485)（Granville-Phillips® 和 Micro-Ion® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注册商标）
典型应用
对半导体过程和传输腔室的压力测量
工业镀膜
低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
| Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr Pa | 1.3 x 10-9 ... 6.7 x 10-2 1 x 10-9 ... 5 x 10-2 1.3 x 10-7 ... 6.7 |
| Accuracy (N2) | ||
| 1.3×10-8 … 6.7 ×10-2 mbar | % of reading | ±15 |
| 1×10-8 … 5×10-2 Torr | % of reading | ±15 |
| Repeatability | % of reading | ±5 |
| Temperature | °C | +10 … +50 |
| Operation (ambient) | °C | 0 ... +40 |
| Storage | °C | -40 ... +70 |
| Bakeout at flange (sensor only, electrics removed) | °C | 200 |
| Supply voltage | V (dc) | +20 ... +28 |
| Setpoint relay | 1 (single-pole double-throw relay (SPDT)) 1 A at 30 V (dc) resistive, or V (ac) non-inductive | |
| Materials exposed to vacuum | Y2O3, Ir, W, Ta, stainless steel, glass, Ni |
零件编号
