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真空计和控制器
热电离真空计 BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计
热电离真空计
BPG402-Sx
大气压至超高真空真空计
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5×10-10 mbar至大气压（3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。为负担不重且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S，以经济高效的方式执行基本压力测量。传感元件带有板载校准数据，保证更换传感器时的高再现性。
好处
从 5 x 10-10 mbar 至大气气压（3.8 x 10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围
在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁
双长使用寿命氧化钇铱丝
备有可选的图形显示器和现场总线接口
高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证高再现性
符合 RoHS 标准
典型应用
对半导体过程和传输腔室的压力测量
工业镀膜
低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
| Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 1000 3.8×10-10 … 750 |
| Accuracy | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | ±15 |
| Repeatability | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | 5 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange without electronics BPG402-S | °C | 80 |
| Bakeout at flange without electronics BPG402-SL | °C | 150 |
| Supply voltage | V (dc) A (dc) | +20 … +28 ≤0.8 |
| Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass |
Part Number
Accessories
Spare Parts
| Part Number | Description |
| 353-570 | BPG402-S DN 25 ISO-KF |
| 353-571 | BPG402-S DN 40 CF-R |
| 353-572 | BPG402-S LCD, DN 25 ISO-KF |
| 353-573 | BPG402-S LCD, DN 40 CF-R |
| 353-578 | BPG402-SL long tube DN 40 CF-R |
| 353-574 | BPG402-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
| 353-575 | BPG402-SP PBus, DN 40 CF-R |
| 353-576 | BPG402-SD DNet, DN 25 ISO-KF |
| 353-577 | BPG402-SD DNet, DN 40 CF-R |
| 353-590 | BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-591 | BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R |
| 353-596 | BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-597 | BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R |
Part Number
Accessories
Spare Parts
| Part Number | Description |
| 353-511 | Power supply BPG400 24VDC |
| 353-512 | Baffle for BPG400 |
| 211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
Part Number
Accessories
Spare Parts
| Part Number | Description |
| 354-494 | Spare sensor head BPG402 DN 25 ISO-KF |
| 354-495 | Spare sensor head BPG402 DN 40 CF-R |