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真空计和控制器
热电离真空计 BCG450 大气压至超高真空三合一真空计
热电离真空计
BCG450
大气压至超高真空三合一真空计
INFICON Bayard-Alpert Pirani 电容式隔膜真空计 (Triple-Gauge™) BCG450 将三大不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中，可以测量从 5×10-10 至 1500 mbar（3.75×10-10 至 1125 Torr）的过程压力和基本压。BCG450 的设计旨在替代三个传感器（热电离、加强对流 Prani 和真空开关），因而节省了成本和宝贵的工具空间。
好处
BCG450 可节省成本和工具空间，降低真空测量仪器的安装与设置的复杂性
压力超过 10 Torr 时压力测量不受气体类型限制，可以为任何气体混合物提供更为可靠的预抽真空室控制
皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁
高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
大气气压下压差测量消除了大气压力变化引起的不确定性
传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证再现性
备有可选的图形显示器和现场总线接口
符合 RoHS 标准
典型应用
对半导体过程和预抽真空室的压力测量
工业镀膜
在低至超高真空范围中系统的一般真空测量和控制
规格
| Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 1500 3.75×10-10 … 1125 |
| Accuracy | ||
| 10-8 … 50 mbar | % of reading | ±15 |
| 50 … 950 mbar | % of reading | ±5 |
| 950 … 1050 mbar | % of reading | ±2.5 |
| Repeatability | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | 5 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange | °C | 80 |
| Bakeout electronics removed | °C | 150 |
| Supply voltage | V (dc) A (dc) | 20 … 28 0.8 |
| Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass |
Part Number
Accessories
Spare Parts
| Part Number | Description |
| 353-550 | BCG450 DN 25 ISO-KF |
| 353-551 | BCG450 DN 40 CF-R |
| 353-552 | BCG450 LCD, DN 25 ISO-KF |
| 353-553 | BCG450 LCD, DN 40 CF-R |
| 353-554 | BCG450-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
| 353-556 | BCG450-SP PBus, DN 40 CF-R |
| 353-557 | BCG450-SD DNet, DN 25 ISO-KF |
| 353-558 | BCG450-SD DNet, DN 40 CF-R |
| 353-592 | BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-593 | BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
| 353-598 | BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-599 | BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
| 353-517 | BCG450-PN PROFINET, DN 25 ISO-KF |
| 353-518 | BCG450-PN PROFINET, DN 40 CF-R |
Part Number
Accessories
Spare Parts
| Part Number | Description |
| 353-511 | Power supply BPG400 24VDC |
| 353-512 | Baffle for BPG400 |
| 211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
Part Number
Accessories
Spare Parts
| Part Number | Description |
| 354-492 | Spare sensor head BCG450, DN 25 ISO-KF |
| 354-493 | Spare sensor head BCG450, DN 40 CF-R |