产品中心
PRODUCTS CENTER
真空计和控制器
热电离真空计BPG400
热电离真空计
BPG400
大气压至超高真空真空计
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG400 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5×10-10 mbar至大气压（3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。选择 BPG400 单一经济型封装，在低成本、可重复的过程中进行基础压力测量。
好处
从 5 x 10-10 mbar 至大气气压（3.8 x 10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围
在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
皮拉尼联锁保护 Bayard-Alpert 系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染
长使用寿命氧化钇铱丝
备有可选的图形显示器和现场总线接口
高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
符合 RoHS 标准
低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
典型应用
对半导体过程和传输腔室的压力测量
工业镀膜
低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
| Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 1000 3.8×10-10 … 750 |
| Accuracy | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | ±15 |
| Repeatability | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | 5 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange with extension | °C | 150 |
| Bakeout at flange without extension | °C | 80 |
| Bakeout electronics removed | °C | 150 |
| Supply voltage | V (dc) A (dc) | +20 … +28 0.8 |
| Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass |
Part Number
Accessories
Spare Parts
| Part Number | Description |
| 353-500 | BPG400 DN 25 ISO-KF |
| 353-501 | BPG400 LCD, DN 25 ISO-KF |
| 353-502 | BPG400 DN 40 CF-R |
| 353-503 | BPG400 LCD, DN 40 CF-R |
| 353-505 | BPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
| 353-506 | BPG400-SP PBus, DN 40 CF-R |
| 353-507 | BPG400-SD DNet, DN 25 ISO-KF |
| 353-508 | BPG400-SD DNet, DN 40 CF-R |
Part Number
Accessories
Spare Parts
| Part Number | Description |
| 353-511 | Power supply BPG400 24VDC |
| 353-510 | 100 mm sensor extension tube |
| 353-512 | Baffle for BPG400 |
| 211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
Part Number
Accessories
Spare Parts
| Part Number | Description |
| 354-490 | Spare sensor head BPG400, DN 25 ISO-KF |
| 354-491 | Spare sensor head BPG400, DN 40 CF-R |
| 354-498 | Spare electronic BPG400 without Display |
| 354-499 | Spare electronic BPG400 with Display |