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热电离真空计 BAG402 中到超高真空真空计

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产品简介

热电离真空计

BAG402

中到超高真空真空计

INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402 涵盖从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）的广泛测量范围。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装，在低成本、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。独特的双丝极结构提供更优异的精度、长期稳定性和长使用寿命。

好处

测量范围从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）
在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
超压检测保护丝极，防止过早烧毁
双长使用寿命氧化钇铱丝
自动发射电流选择降低了控制复杂性
传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证高再现性
符合 RoHS 标准

典型应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量
工业镀膜
低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

Measurement range (air, O2, CO, N2)	mbar Torr	5×10-10 … 2.7×10-2 3.75×10-10 5×10-2

Accuracy

10-8 … 10-2 mbar	% of reading	±15

Temperature

Operation (ambient)	°C	0 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange without electronics	°C	80

Supply voltage	V (dc) A (dc)	+20 … +28 ≤0.8