产品中心

Product

首页 产品中心 瑞士Inficon英福康 真空计和控制器

真空计和控制器

瑞士Inficon英福康
德国Becker贝克
德国Bush普旭
德国Leybold莱宝
德国Linxon灵讯
德国Pfeiffer普发
德国Rietschle.里其乐
德国Thyracont图拉特
德国VACUUBRAND普兰德
美国Agilent安捷伦

产品中心

PRODUCTS CENTER
真空计和控制器

皮拉尼真空计PPG550、PPG570

产品咨询：

19332356985(周总)


皮拉尼真空计

PPG550

大气压至中真空真空计

新型 INFICON Pirani /Piezo 组合真空计 (PPG550) 基于目前最先进的 MEMS（微机电系统）传感器技术。 

在MEMS过程中微型化的Pirani/Piezo组合技术，能够构建一个非常小的、从而节省空间的传感器，这使得测量设备的整体高度非常低成为可能。 

除了高度低的优势外，基于MEMS技术的皮拉尼还具有在高压范围内比传统皮拉尼测量更深、更准确的优势。与安装在同一法兰上的MEMS压电传感器相结合，皮拉尼真空计成为一个真正的宽范围真空计，其测量范围远远超过通常的1000mbar，也可延伸到大气压层。同时，MEMS压电传感器提供独立于气体类型的压力测量，范围为2 ...1333毫巴。上述技术的另一个优点是增加了对加速力和振动的抵抗力。 

最后但并非最不重要的是，新的INFICON PPG550可以用来直接取代所谓的MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™-绝对压电真空压力传感器 "以及MKS925 "Micro Pirani™真空压力传感器"。Inficon提供了相同的连接器/引脚分配，模拟输出和RS232/485兼容性。

优势

  • 2mbar以上的气体类型独立--允许任何气体混合物的安全排放 

  • 大气层的高精度和可重复性--用于可靠、快速的大气压力检测 

  • 多种安装方向--为工具设计提供工程自由度 

  • 可选择模拟输出信号，便于系统集成 

  • 数字接口RS232/RS485 

  • 能够直接替换MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™ - Absolute Piezo Vacuum Pressure Transducers" 以及MKS925 "Micro Pirani™ Vacuum Pressure Transducers" 。

  • DualTrans™ MicroPirani™是MKS Instruments, Andover, MA的注册商标。 

  • 合规性和标准。CE, EN, CSA, RoHS

典型应用

  • 在分析设备/质谱仪中使用 

  • 物理气相沉积 

  • 前线测量 

  • 气体回填

规格

测量范围 (N2)mbar1x10-6 … 1333



准确度




100 ... 1333 mbar% of reading0.5
800 ... 1099 mbar% of reading0.25
100 ... 800 mbar% of reading0.5
2 ... 99.9 mbar% of reading1
1 x 10-4 ... 1.99 mbar% of reading5
1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar% of reading25



温度补偿°C+10 … +50



温度测量的绝对精度°C+/-1.5 (0 … +80)



仪表上的电源电压V (dc)+12 … 30

零件编号