产品中心
PRODUCTS CENTER
真空计和控制器
冷阴极真空计MPG40X大气压至超高真空真空计 MPG400 和 MPG401
冷阴极真空计
MPG40X
大气压至超高真空真空计
INFICON 倒泵控管 Pirani 真空计 MPG400 和 MPG401 测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力（3.8 x 10-9 Torr 至大气压力）。将多项技术融入带有一个对数模拟输出信号的单个紧凑型装置中，显著降低了安装、设置和集成的复杂性。
好处
复合真空计 – 倒磁控管和皮拉尼
从 5 X 10-9 mbar 至大气气压的宽广测量范围
不会出现丝极烧毁的现象
卓越的点火属性
易于清洁
FPM 或金属密封馈入装置
LED 指示器，高压时亮起
对数模拟输出信号
典型应用
高真空压力监控
蒸发镀溅系统基本压力
中真空和高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
MPG400 FPM sealed
MPG401 metal-sealed
| 测量范围（空气，N2） | mbar Torr | 5 x 10-9 … 1000 3.8 x 10-9 … 760 |
| 精度 (N2) | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±30% |
| Repeatability | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±5% |
| 容许温度 | ||
| 运行（环境） | °C | +5 … +55 |
| 贮存 | °C | –40 … +65 |
| 烘烤 (1) | °C | 150 |
| 电源电压 | ||
| 真空计上 | V (dc) | +15 … +30 |
| 缆线最长的电源装置 (2) | V (dc) | +16 … +30 |
| 波纹 | V (p-p) | ≤1 |
| 功耗 | W | ≤2 |
| 暴露于真空的材料 | stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W | |
| (1) 没有电子元件和磁屏蔽。 (2) 电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加。 | ||
MPG400 FPM sealed
MPG401 metal-sealed
| 测量范围（空气，N2） | mbar Torr | 5 x 10-9 … 1000 3.8 x 10-9 … 760 |
| 精度 (N2) | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±30% |
| Repeatability | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±5% |
| 容许温度 | ||
| 运行（环境） | °C | +5 … +55 |
| 贮存 | °C | –40 … +65 |
| 烘烤 (1) | °C | 150 |
| 电源电压 | ||
| 真空计上 | V (dc) | +15 … +30 |
| 缆线最长的电源装置 (2) | V (dc) | +16 … +30 |
| 波纹 | V (p-p) | ≤1 |
| 功耗 | W | ≤2 |
| 暴露于真空的材料 | stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W | |
| (1) 没有电子元件和磁屏蔽。 (2) 电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加。 | ||
Part Number
Accessories
Spare Parts
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-010 | MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF |
| 351-011 | MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF |
| 351-012 | MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-020 | MPG401 metal sealed, DN 25 ISO-KF |
| 351-021 | MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF |
| 351-022 | MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F |
| 351-023 | Magnetic shield |
Part Number
Accessories
Spare Parts
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-023 | Magnetic shield |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-023 | Magnetic shield |
Part Number
Accessories
Spare Parts
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846469-T | Spare measurement system MPG400 DN25 KF |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846472-T | Replacement meas. unit MPG401 DN25 KF |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846470-T | Spare measurement system MPG400 DN40 KF |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846473-T | Replacement meas. unit MPG401 DN40 KF |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846471-T | Spare measurement system MPG400 DN40CF-F |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846474-T | Spare meas. system, MPG401 DN40CF-F |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-994 | MPG40x Ignition tool set |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-994 | MPG40x Ignition tool set |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-998 | MPG400 Repair set. |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-996 | MPG401 Repair set |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-999 | MPG400 Maintenance set |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-997 | MPG401 Maintenance set |