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真空计和控制器
冷阴极真空计Gemini® MxG5xx
冷阴极真空计
Gemini® MxG5xx
大气压至超高真空真空计
INFICON Gemini® 倒置磁控真空计是所有真空测量应用（专利申请中）的动力源泉。Gemini MPG50x将两个传感器系统组合在一个小型设备中，用于从大气测量低至1x10–9毫巴，而Gemini MAG50x是一个纯冷阴极传感器系统（不含Pirani元件），覆盖范围从1x10-2毫巴至1x10-9毫巴。获得专利的超低杂散磁场设计为全新的应用领域开启了大门。独特的可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护，这使使Gemini成为同类产品中最坚稳和经济的真空计。
Gemini冷阴极和组合真空计配备了完全集成的数字电子设备，使系统集成具有很强的灵活性。冷阴极和皮拉尼组合选项提供了跨越多个应用领域的无缝转换、可靠性、实用性和灵活性。
MAG 和 MPG Gemini 現在也可搭配 PROFINET、EtherCAT 現場總線以及 MAG55x 和 MPG55x 設定點使用。
优势
在恶劣环境下，使用寿命长
低杂散磁场
零维护 - 可换插头
超紧凑尺寸
抗腐蚀馈入装置
可选测量电流
2 個繼電器設定點 (使用 PROFINET 或 EtherCAT 版本 MxG55x 時)
數位介面 PROFINET、EtherCAT 及 RS232/RS485
典型应用
在蒸发和溅射涂层应用中从大气到高真空基本压力监测和控制。
一般真空测量 - 工业炉、建筑玻璃、半导体、冰箱和空调。
分析和研发应用 – 质谱分析、电子显微镜、医疗、眼科、光学和高能物理。
技术规格
MAG5xx
MPG5xx
| 测量范围（空气、氮气） | mbar Torr | 1×10-9 … 1×10-2 (7.6×10-10 … 7.6×10-3) |
| 准确度 (N2) | ||
| 1×10-8 … 1×10-2 毫巴 | % of reading | 30 |
| 1×10-2 … 100 毫巴 | % of reading | - |
| 100 … 1000 毫巴 | % of reading | - |
| 可重复性 (N2) | ||
| 1×10-8 … 1×10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
| 1×10-8 … 100 毫巴 | % of reading | - |
| 容许温度 | ||
| 运行（环境） | °C | +5 ... +55 |
| 法兰烘烤 (1) | °C | <150 |
| 储存 | °C | -40 ... +70 |
| 灯丝温度 | °C | - |
| 供电电压 | ||
| 在量规 (2) | V (dc) | +14.5 ... +30 |
| 波纹 | V (p-p) | <1 |
| 功耗 | W | <2 |
| 待连接的保险丝 | AT | <1 |
| (1）没有电子元件。 (2）电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加。 | ||
MAG5xx
MPG5xx
| 测量范围（空气、氮气） | mbar Torr | (7.6×10-10 … 760) 1×10-9 … 1×10-2 |
| 准确度 (N2) | ||
| 1×10-8 … 1×10-2 毫巴 | % of reading | 30 |
| 1×10-2 … 100 毫巴 | % of reading | 30 |
| 100 … 1000 毫巴 | % of reading | 50 |
| 可重复性 (N2) | ||
| 1×10-8 … 1×10-2 毫巴 | % of reading | - |
| 1×10-8 … 100 毫巴 | % of reading | 5 |
| 容许温度 | ||
| 运行（环境） | °C | +5 ... +55 |
| 法兰烘烤 (1) | °C | <150 |
| 储存 | °C | -40 ... +70 |
| 灯丝温度 | °C | 120 |
| 供电电压 | ||
| 在量规 (2) | V (dc) | +14.5 ... +30 |
| 波纹 | V (p-p) | <1 |
| 功耗 | W | <=3 |
| 待连接的保险丝 | AT | <1 |
| (1）没有电子元件。 (2）电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加。 | ||
法兰盘类型
零部件
| MAG5xx | |
| 零件编号 | 描述 |
| 211-098 | Centering ring with fine filter DN 25 KF |
| 351-550 | MxG50x Ignition tool set |
| 211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
| 353-512 | Baffle for BPG400
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| MPG5xx | |
| 零件编号 | 描述 |
| 211-098 | Centering ring with fine filter DN 25 KF |
| 351-550 | MxG50x Ignition tool set |
| 211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
| 353-512 | Baffle for BPG400 |
法兰盘类型
零部件
| MAG5xx | |
| 零件编号 | 描述 |
| 351-500 | MAG500 spare sensor, 25KF, SS |
| 351-556 | Spare ion chamber ti |
| 351-512 | MAG500 spare sensor, 40KF, SS |
| 351-536 | MAG500 spare sensor, 40CF-R, SS |
| 351-524 | MAG500 spare sensor, 40CF-F, SS |
| 351-502 | MAG500 spare sensor, 25KF, TI |
| 351-514 | MAG500 spare sensor, 40KF, TI |
| 351-538 | MAG500 spare sensor, 40CF-R, TI |
| 351-526 | MAG500 spare sensor, 40CF-F, TI |
| 351-501 | MAG504 spare sensor, 25KF, SS |
| 351-513 | MAG504 spare sensor, 40KF, SS |
| 351-537 | MAG504 spare sensor, 40CF-R, SS |
| 351-525 | MAG504 spare sensor, 40CF-F, SS |
| 351-503 | MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI |
| 351-515 | MAG504 spare sensor, 40KF, TI |
| 351-539 | MAG504 spare sensor, 40CF-R, TI |
| 351-527 | MAG504 spare sensor, 40CF-F, TI |
| 351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
| 351-555 | Spare ion chamber ss
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