产品中心
PRODUCTS CENTER
真空计和控制器
电容式压力计Edge® CDG
电容式压力计
Edge® CDG025D2
全量程 0.1 ... 1000 Torr / mbar
带有 EtherCAT 的 INFICON 温度补偿型 Edge CDG025D2 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的极其准确的真空测量仪表。
成熟的温度补偿、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有无与伦比的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。先进的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节，另外还配有 EtherCAT 现场总线接口。
优势
易于集成，EtherCAT，各种满刻度和法兰，标配两个设定点
轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
诊断端口用于快速维修和维护
防腐陶瓷传感器
卓越的长期信号稳定性
温度补偿
传感器防污染保护
合规性与标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型应用
刻蚀、PVD 和其他半导体制造过程
数据存储和显示制造设备
工业真空设备
常规高精度压力测量
技术规格
1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr / mbar
0.1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr / mbar
0.1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr / mbar
0.1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr / mbar
0.1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.25 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 130 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr / mbar
0.1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.5 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 130 / 30 (3) |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |