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电容式压力计 SKY® CDG025D 全量程 0.1 ... 1000 Torr / mbar

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电容式压力计

SKY® CDG025D

全量程 0.1 ... 1000 Torr / mbar

INFICON SKY CDG025D 电容式隔膜真空计系列的高精度、温度补偿型压力计，可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。高级数字电子元件可提高仪表性能, 且易操作, 例如一键归零功能和设定点调整。防腐蚀陶瓷传感器具的零点稳定性出色，预计寿命可达到数百万个加压循环，包括突发大气压。独有的传感器屏蔽（专利申请中）可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度补偿。CDG025D 为开机后快速稳定以及从气压中快速恢复的功能树立了新的标准。

优势

  • 从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程

  • 电源接通后快速稳定

  • 暴露于大气压后快速恢复

  • 防腐蚀陶瓷传感器

  • 卓越的长期信号稳定性

  • 温度补偿

  • 传感器受防污染保护

  • 一键调零功能

  • 宽范围电源

典型应用

  • 用于蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 的半导体制造设备

  • 数据存储和显示器制造设备

  • 工业真空设备

  • 经济、高度精确的压力测量

规格

1000 Torr / 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr
0.1 Torr / mbar
精度 % of reading0.2



分辨率percent FS0.003



输出信号（模拟）V (dc)0 … +10



反应时间 ms30



暴露于真空的材料
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
1000 Torr / 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr
0.1 Torr / mbar
精度 % of reading0.2



分辨率percent FS0.003



输出信号（模拟）V (dc)0 … +10



反应时间 ms30



暴露于真空的材料
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
1000 Torr / 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr
0.1 Torr / mbar
精度 % of reading0.2



分辨率percent FS0.003



输出信号（模拟）V (dc)0 … +10



反应时间 ms30



暴露于真空的材料
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
1000 Torr / 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr
0.1 Torr / mbar
精度 % of reading0.25



分辨率percent FS0.003



输出信号（模拟）V (dc)0 … +10



反应时间 ms130



暴露于真空的材料
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
1000 Torr / 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr
0.1 Torr / mbar
精度 % of reading0.5



分辨率percent FS0.003



输出信号（模拟）V (dc)0 … +10



反应时间 ms130



暴露于真空的材料
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass