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旋转馈入装置 ISO-KF ISO-K

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旋转馈入装置

INFICON 的各种机械馈入装置为所有苛刻的应用提供了正确的设备,无论它是否适用于此,比如:在涂层应用室或实验室条件下的应用研究项目。

可用法兰设计 ISO-KF/ISO-K 和 CF 与我们的接头管对应。所有馈入件都适合用于泄漏速率不超过 1 x 10-9 mbar•l/s 的真空系统。对于 UHV,还可提供全金属设计的馈入件。

好处

  • 波纹管密封

  • 全金属版本

  • 可满足各种苛刻的真空要求

  • 符合 2011/65/EU RoHS 标准

规格

FRU016-H
FRU040-N
FRU040-L
真空连接
DN16 ISO-CF-F



馈通/密封
波纹管



轴连接mm4



可传递扭矩
动态Nm0.4 
动态,300 °C 时Nm0.2
静态Nm0.2



旋转速度rpm200
最大扭矩时rpm­─



真空侧的轴负载
径向力N10
轴向力N5



服务寿命旋转次数1'000'000



刻度划分程度10



密封性mbar•l/s5 x 10-11



压力(绝对值)
1 x 10-10 mbar ... 2 bar



操作温度°C300
烘烤温度°C300



暴露在加工介质中的材料
不锈钢 304L/1.4306, 
不锈钢 304/1.4301,  
–/2.4360



重量

 

kg0.3
FRU016-H
FRU040-N
FRU040-L
真空连接
DN40 ISO-CF-F



馈通/密封
波纹管



轴连接mm8



可传递扭矩
动态Nm
动态,300 °C 时Nm2
静态Nm3



旋转速度rpm1000
最大扭矩时rpm500­



真空侧的轴负载
径向力N60
轴向力N20



服务寿命旋转次数2'000'000



刻度划分程度



密封性mbar•l/s5 x 10-11



压力(绝对值)
1 x 10-10 mbar ... 2 bar



操作温度°C300
烘烤温度°C300



暴露在加工介质中的材料
不锈钢 304L/1.4306, 
不锈钢 304/1.4301



重量

 

kg1.5
FRU016-H
FRU040-N
FRU040-L
真空连接
DN40 ISO-CF-F



馈通/密封
波纹管



轴连接mm12



可传递扭矩
动态Nm10 
动态,300 °C 时Nm2
静态Nm5



旋转速度rpm500
最大扭矩时rpm300­



真空侧的轴负载
径向力N100
轴向力N30



服务寿命旋转次数1'000'000



刻度划分程度



密封性mbar•l/s5 x 10-11



压力(绝对值)
1 x 10-10 mbar ... 2 bar



操作温度°C300
烘烤温度°C300



暴露在加工介质中的材料
不锈钢 304L/1.4306, 
不锈钢 304/1.4301, 
不锈钢 303/1.4305



重量

 

kg3.0