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射频传感技术
射频传感技术Sion™
射频传感技术
我们的尖端射频传感技术为工业环境中的实时等离子体监测、晶圆蚀刻和过程控制提供了非侵入式解决方案。凭借精确的电弧检测和端点控制，我们的传感器可提高效率、防止电弧事件并降低运营成本。它们专为高速数据采集而设计，可确保半导体制造过程中的最佳性能。
射频传感技术
Sion™
无创卡箍式射频检测仪可在 iPVD、PECVD 和蚀刻应用中实现高速电弧检测
减少晶圆损失，提高产出
等离子体加工期间的电弧放电可造成靶和腔室损坏，因而导致基材受损并形成颗粒。随着特征尺寸的下降，微电子设备越来越容易出现电弧引发的损坏。电弧放电可出现在任何等离子辅助过程中，例如电离物理气相沉积 (iPVD)、等离子增强化学气相沉积 (PECVD) 和蚀刻。INFICON Sion 弧检测器可提供至关重要的第一道防线。Sion 能够快速检测到微弧并在明显损伤或废料出现之前对其作出反应。系统可对等离子微电弧事件进行实时检测和分析。
功能
便于改装到现有工具箱中
非侵入式传感器安装
高速数据采集 (250 kHz)
与 FabGuard 相集成的数据管理