将您的制造过程控制提升到一个新的水平，通过INFICON的烃类检测器检测挥发性有机化合物。

我们的宽带、非选择性传感器可在恶劣的工业制造环境中监测关键过程——包括半导体、太阳能、制药或其他真空基过程——并以优异的灵敏度实时检测烃类和硅油。

无论是检测半导体中的光刻胶污染，还是在冻干应用中检测泵油污染，HCD传感器都是用户友好且有效的解决方案。它可无缝集成到现有系统或INFICON FabGuard®软件中。该传感器适用于任何腔室条件，且无需维护泵系统。