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保护性涂层
xPartsALD镀膜服务
xParts
ALD镀膜服务
xParts涂层是高度均匀、无颗粒的ALD（原子层沉积）薄膜，应用于客户特定的三维部件，用于极端恶劣的应用，如半导体生产过程。
xParts涂层增加了关键部件的使用寿命，确保了生产工具的正常运行时间。
客户需求 | xParts特点 | 优势 |
|---|---|---|
| 高耐腐蚀性 | 零件的使用寿命较长 |
扩散屏障 | 减少调理 | |
产量良好 | 低金属污染 | 更少的缺陷/污染 |
好的晶圆 | 无颗粒物 | 更少的缺陷/PM后的恢复 |
拥有成本 | 翻修计划 | 降低所有权成本 |