产品中心

Product

薄膜沉积

产品中心

PRODUCTS CENTER
薄膜沉积

传感器和馈入件薄型双传感器

产品咨询:


薄型双传感器

经济型双传感器为一个晶体可能不够的 QCM 应用提供简单并且廉价的解决方案。闸门将覆盖第二个晶体,直到需要该晶体完成过程。经济型双传感器使用两条真空电缆以便于在现场更换。

经济型双传感器的紧凑设计仅需要 32.5 毫米(1.3 英寸)的间隙,传感器和快门组件即可穿过标准 CF40 管嘴。

经济型双传感器还可采用标准和直角方向,它们可进行适当配置以包含带有或不带标准管接头的馈入件。

备注:经济型双传感器使用 4.8 毫米(3/16 英寸)外径水冷管。  它们与配备馈入件的 Ultra-Torr 不兼容,需要管接头才能焊接到具有 4.8 毫米(3/16 英寸)外径水冷管的标准馈入件。

功能

  • 双晶体

  • 物有所值

  • 薄型设计

  • 包括晶体闸

  • 易于安装

  • 在焊接到 CF40 馈入件的可烘烤配置中可用

  • Sensor / Feedthrough combinations available with or without bored-through tube fittings

规格

无水时的最高烘烤温度130° C


最小水流时的最高工作等温环境温度400° C


Crystal ExchangeFront loading; shutter moves to the side for easy access to the holders


Feedthrough2 pass water and 1 pass air 4.76 mm (0.188 in) OD with 2 microdot coaxial connections


Water TubesS-304, 4.76 mm (0.188 in) OD x 0.51 mm (0.020 in.) wall thickness seamless stainless steel tubing


Feedthrough Specifications-CF40 (2-3/4 in. ConFlat)
材料304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
温度Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
安装Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.
Accessories
Consumables
NameDescription
Easy Rate Sensor FeedthroughsEasy Rate Sensor Feedthroughs
Accessories
Consumables
NameDescription
Quartz Monitor CrystalsQuartz Monitor Crystals

Spare Parts

Part NumberDescription
784-205-G1Crystal Retainer Assembly
784-403-P1Crystal Finger Spring
784-204-G1Crystal Holder Assembly
784-404-P1Retaining Ring
784-300-P1Crystal Holder
784-405-P1Holder Finger Spring
750-174-P2Female coax
080-011-P3SCREW 0-80 x .125 LG SLOT PAN HD SS GP
080-013#0-80 Split washer
784-206-G1Easy Rate Sensor Actuator Assembly
784-203-G1Easy Rate Right Angle Dual Sensor Head
784-306-P1Easy Rate Sensor Actuator Clamp
084-054SSplit Washer #4 Stainless Steel Spare
084-027Socket Screw
784-307-P1Easy Rate Dual Sensor Shutter
783-500-023In-vacuum cable, 25.4 cm (10 in.)
783-500-024In-vacuum cable, 76.2 cm (30 in.)