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AV5A 采用铝合金制造。它有一个连接到螺旋驱动柱塞的控制旋钮：顺时针转动控制旋钮可关闭阀门。丁腈 O 型圈将柱塞密封到阀体上。

该阀可以直接连接，由管道支撑或采用面板安装方式，并通过 EDWARDS SC5 联结器（随附）连接到真空系统。

AV10K 的制造和工作方式与 AV5A 相同，但连接方式不同。

该阀只能由管道支撑，并通过 NW10 配件连接到真空系统。

带有 ISO NW 粗真空和前级泵端接口的 BRV 前级/粗真空阀提供手动或气动型。它们将单独的前级/粗真空阀的功能组合在一个一体式 3 端口装置中。

随附柔性氯丁橡胶连接器进行前级连接。粗真空和前级泵在适当的 NW 端接口中端接。

IPVA10EK 是一个电磁驱动阀，设计用于将空气或排气自动引入真空系统。

该阀有两个带 NW 法兰的端口。其中一个阀端口连接到真空系统，另一个阀端口与大气相通或与排气源相连。

通过阀柱塞底座上的氟橡胶垫（密封在阀体上）将真空系统与大气（或排气源）隔离。

IPVA10EK 是一个电磁驱动阀，设计用于将空气或排气自动引入真空系统。

该阀有两个带 NW 法兰的端口。其中一个阀端口连接到真空系统，另一个阀端口与大气相通或与排气源相连。

通过阀柱塞底座上的氟橡胶垫（密封在阀体上）将真空系统与大气（或排气源）隔离。

QSB 四分之一回转阀是快速作用的紧凑型高流导隔离阀。QSB 阀具有抛光不锈钢 ISO 法兰阀体，带有氟橡胶 O 型圈密封阀板和轴。阀板 O 型圈槽可排气，有助于保持稳定的高真空度。阀轴 O 型圈和轴承用 Fomblin® 润滑脂润滑，以防止从轴封后面发生气体爆炸。

该阀配有一个共密封件。

VIV 真空隔离阀是一种快速作用的高流导高真空隔离阀，设计用于防止蒸气或颗粒从前级泵移动到处理室。

当 VIV 关闭时，前级泵将安全排气。当泵停止或被停止时，VIV 可防止处理室排气。当前级泵重新启动时，阀会在 VIV 内的压力下降后缓慢打开，从而尽可能降低任何压力脉冲的影响。

VIV 真空隔离阀适用于 EDWARDS 小型干式主泵系列 nXDS、XDS、nXLi 和 nXRi。

对于配有 M8 阀连接器或 15 路 D 型逻辑接口连接器的 EDWARDS 前级泵，我们建议使用 24V 直流阀和可选附件电缆或 VIV Link，因为这可提供更高级别的保护。