产品中心
PRODUCTS CENTER
测量和控制
残余气体分析仪
残余气体分析仪
高性能和可操作性的出色平衡
独特优势
总压力测量
实现完整的制程控制
双真空计丝
实现高可靠性和长运行时间
设备显示屏上
用于在不使用 PC 的情况下进行基本测量
客户可自行更换部件
所有 RGA 均配备易于使用的专用软件
可让您通过笔记本电脑实时跟踪您的流程，并对多达 16 台不同的设备进行详细分析。
对于那些想快速查看结果的人来说，这些设备均配有特别的板载显示屏，无需通过笔记本电脑连接即可显示主要气体类型以及系统的整体压力。
PRA 一次气体分析仪
提供高性能和可操作性的出色平衡。
提供四种型号，以满足您的工艺需求，无论您是只需要基本型号，还是需要灵敏度更高/量程更广的产品。
PRA 是分析您流程的出色起点。
WRA 宽量程残余气体分析仪
出色产品，技术规格名列市场前茅。
可提供 1-200 amu 或 1-300 amu 两种型号，您可以测量制程中的各种气体/副产品。
与 PRA 相比，该产品具有更高的灵敏度，可提高测量精度。
脱气功能
离子源和 EM 的保护