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真空泵
Edwards CTI-Cryogenics On-Board® IS 单级低温泵
提高系统处理量和处理效率
要想在多种真空处理应用场景中达到理想的工作效率，您需要大幅提升抽速。
Edwards CTI-Cryogenics On-Board® IS 单级低温泵可显著提高涡轮泵的抽速，无论是用于传输腔、in-line还是腔体解决方案，均使系统处理量和处理效率有可能得到大幅提升。
高速水泵还可以提升许多采用真空处理工艺的最终产品质量，从而提高总体产量，并大幅降低浪费和生产成本。
On-Board® IS 单级低温泵的设计采用多种配置，以满足大多数应用需求。其同时支持内嵌配置和就地配置，并提供不同的产品尺寸。
主要特点
每秒抽送 16,000 升以上的水蒸气，同时提高工艺质量，缩短多种应用范围内的循环时间
抽送多种碳氢化合物气体污染物，与涡轮泵相比，其抽送污染物的速度提高了五到十倍，同时提高最终产品的良率
在负载锁定的传输或处理室使用中，可将涡轮泵的水蒸气抽速提高八倍
与 On-Board® 低温泵系列产品相比，振动幅度非常低
运行成本低，占地面积小，不需要大型紧密耦合压缩机即可正常工作，通常可以与现有的氦气系统一起运行
同时支持内嵌配置和就地配置，并提供不同的产品尺寸，以满足用户的不同需求
易于安装
