产品中心
PRODUCTS CENTER
真空泵
Edwards CTI-Cryogenics On-Board
Edwards CTI-Cryogenics On-Board
加速集成速度，改善系统运行
Edwards CTI-Cryogenics On-Board 真空泵可加快集成速度并改善系统运行 - 被公认为可靠性和性能方面的全球典范。
On-Board 低温泵具有集成的控件和外围支持设备，可提供出色的正常运行时间和一致的性能，从而提高设备的整体生产效率和正常运行时间。
主要特点
快速 Regen™ 功能可扩展低温泵在再生间隔期内的性能
通过将您的低温泵联网而实现同时再生功能，可使整个系统的再生加速
嵌入式微处理器控件可增强低温性能、执行诊断程序并提供通信功能
先进的软件和易于使用的图形用户界面，可显著改善低温泵的性能和操作
| On-Board Cryopump 型号 | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
| 泵送速度 - 升/秒 | ||||||||
| 水蒸汽 | 1,100 | 4,000 | 4,000 | 9000 | 9,500 | 6,500 | 17,500 | 30,000 |
| 空气 | 370 | 1500 | 1500 | 3000 | 3600 | 2,200 | 6000 | 10000 |
| 氢气 | 370 | 2500 | 2,200 | 5000 | 6000 | 3200 | 12000 | 12000 |
| 氩气 | 310 | 1200 | 1200 | 2500 | 3000 | 1,800 | 5000 | 8,400 |
| 泵送容量 - 标准升 | ||||||||
| 氩气 | 210 | 1000 | 1000 | 2000 | 2000 | 1000 | 2500 | 6000 |
| 氢气 (5x10-6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| 标称再生时间（冷态至冷态） | ||||||||
| 第一和第二阶段 | 75 分钟 | 2.5 小时 | 2.5 小时 | 2.5 小时 | 2.5 小时 | <3.3 小时 | 3 小时 | <3.8 小时 |
| 第二阶段 | <1 小时 | <1 小时 | <1 小时 | <1 小时 | <1 小时 | <1.5 小时 | <1.5 小时 | “ |