真空泵

On-Board® IS 320F XVS 低温泵具有优异的氢气抽取性能，有助于提高工艺产量和吞吐量，可以充分应对当今的离子注入应用挑战。低温泵内置智能系统控件确保获得更好的工艺质量、一致的真空水平和更长的运行时间，同时提供实时的系统信息以优化阵列温度的控制。通过自动适应不断变化的热力/气体负荷条件，提高了真空质量。

功能和优势

稳定的真空性能

• 再生过程之间的 H2 抽速波动变小

• 减少光刻胶污染对 H2 抽速的影响

• 优化、稳定的阵列温度

增强的真空性能

• 较高的 H2 抽速 - 15,500 L/S

• 较高的 H2 容量 – 40 STD-L

系统兼容性

• On-Board IS 低温泵系统

• IS-1000、IS-2000V、IS-1800 XVS 压缩机