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真空泵
On-Board® IS 低温泵
On-Board® IS 低温泵
创新的低温技术带来高效率
优质的真空性能和能效
EDWARDS CTI-Cryogenics IS 低温泵系统利用创新的高效技术，提供优质的真空性能和能效。
分布式控制系统可监测并不断调整低温泵系统的各个元件，以保持优异的全系统真空性能，从而实现出色的流程一致性。在当今可用的任何低温泵系统中，On-Board IS 低温泵的正常运行时间更长、生产率更佳且总拥有成本更低，该产品由 Edwards 响应敏捷的全球服务和支持网络提供支持。
主要特点
分布式控制系统可监测并不断调整低温泵系统的各个元件
保持优质的全系统真空性能，提供出色的流程一致性
无论是单泵还是多泵配置，再生速度都很快
能源和冷却水消耗低，却不牺牲真空性能
易于实现系统集成
快速完成生产安装
增强的远程监测功能，可进行预防性和预测性维护
IS 320FX 低温泵
On-Board® IS 320FX 低温泵，专为应对当今离子注入工艺的挑战而开发，可提高氢气抽送速度和容量，同时还能保持您对该低温泵所期待的质量、性能和可靠性优势。
专为离子注入应用而设计
针对低温设备的处理能力进行了优化
智能的“自我调节”技术
更低拥有成本
延长了正常运行时间
IS XP
On-Board® IS XP 低温泵为 PVD 应用提供了更大的抽气容量，以实现出色的生产率，同时保持流程透明性。此外，它还充分利用了 On-Board® IS 久经考验的能效、一致的性能和低拥有成本，这正是您对它的期望。
该泵提供容量冗余，以用于将来的流程改进
更低拥有成本
延长正常运行时间
智能的“自我调节”技术，实现稳定的真空性能