真空泵

HyTan NEG

HyTan NEG-离子泵

NEG 泵可以对 H2 以及 N2、O2 和 CO 等化学活性气体高速抽吸，离子泵可以高效地抽吸所有气体组分，包括惰性气体和甲烷。HyTan NEG-离子泵将这两种技术组合到一款紧凑型 UHV 泵中。

借助可更换模块，NEG 泵提供 100 – 500 l/s 的氢气抽速范围，而离子泵模块采用卓越的传统二极管元件，这种创新技术适用于多种 UHV 应用。

HyTan NEG-离子泵尺寸紧凑，并且可以将泵组装到腔室中，因此非常适合空间受限的 UHV 环境。 

离子泵

也称为溅射离子泵或离子吸气泵。

这是使用阳极/阴极阵列来电离气体的捕集泵。

离子溅射反应性阴极材料，产生化学反应将电离气体转化为固体化合物。这些化合物不再对真空系统的压力产生影响，并被捕获在离子泵内。

离子泵可以在 10-5至 10-12mbar 的范围内运行，氮气抽取速度为 0.2 至 1200 l/s。

其工作原理是加热钛丝并将钛分子升华（从固相转变为气相）到表面。

然后，升华的钛分子可与氧气和氮气等反应气体发生化学反应，并使氢气分离和扩散出来。

TSP 可在 10-5 至 10-12mbar 的范围内运行，氢气抽取速度超过 10000 l/s。

非蒸发型吸气 (NEG) 泵

NEG 泵芯 N200

NEG 泵芯 N200

NEG 泵芯 N200

NEG 泵芯 N200

NEG 泵芯 N200

NEG 泵芯 N200

NEG 泵芯 N200

这些活性金属被压在固体基材上或烧结成圆盘。

实际发现锆、钒和铁的特定组合在 HV 和 UHV 环境中应用效果非常出色。材料的使用量控制着 NEG 泵的抽速和容量，其抽速通常为 55 至 412 l/s，容量通常为 630 至 3600 Torr l/s。

当 NEG 泵吸收气体至饱和状态时，它们可以在不向大气排放的情况下被重新活化。

超高真空泵的主要特点

消除了机械振动

捕集泵不含活动部件，这消除了活动部件产生的振动以及电气噪音

耐辐射性高

捕集泵采用超过 108 灰度的耐辐射材料制造而成。连接器和电缆也采用耐辐射材料制造，可连续运行多年

耐高温

在任何条件下，捕集泵都可被烘烤至 250°C。如果移除磁铁，可以将烘烤温度升至 450°C。长时间的热烘烤对每一个 UHV 系统都至关重要

无需定期维护

捕集泵几乎无需维护，并因其与大气隔绝而避免了成本高昂的真空事件，为您节省时间、金钱和资源

初始运行成本低

初始成本通常低于同类规格的其他类型真空泵。它们消耗很少的电量或根本不用电，可实现长年的低成本运行