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PRODUCTS CENTER
真空泵
COBRA DS 3181 C 干式螺杆真空泵
COBRA DS 系列的优势
COBRA DS 干式螺杆真空泵是适用于高要求工艺的理想真空获得设备。即使在需要高氢气吞吐量的条件下，亦能胜任。因此，它们非常适用于化学气相沉积、快速热处理或原子层沉积等应用。
不同型号的 COBRA DS 系列产品均配备集成的高性能罗茨泵， 前级泵和罗茨泵的组合使用提升了抽速和极限压力。
荣获专利的自平衡螺杆设计可确保出色的粉末处理能力和长时间正常运行。
COBRA DS 真空泵的螺杆由一体式铸件制成，可避免任何间隙， 从而避免工艺液体或颗粒进入。因此，可以防止受到腐蚀和出现沉积。
COBRA DS 系列真空泵采用高效的间接水冷方式。因此，可以控制整个泵体的温度分布， 可随时响应工艺变化。
凭借就地安装设计，COBRA DS 可以被快速、轻松地加装到现有系统中。
适用于高要求工艺的新一代干式真空泵
性能出色
先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用
高效
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效间接水冷却
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上
技术规格
| 技术参数 | COBRA DS 3181 C |
|---|---|
| 额定抽速 | 3500 m³/h |
| 极限压力 | 0.001 hPa (mbar) |
| 前级泵电机额定功率 | 18.5 kW |
| 罗茨真空泵电机额定功率 | 15.0 kW |
| 功耗（怠速模式） | 10.3 kW |
| 极限压力时的功耗 | 12.4 kW |
| 前级泵电机额定转速 | 4220 min⁻¹ |
| 罗茨真空泵电机额定转速 | 5400 min⁻¹ |
| 声压级（ISO 2151），KpA = 3 dB | < 75 dB(A) |
| 耗水量 | 最低 10 l/min |
| 氮气消耗量 | 0 – 200 l/min |
| 重量（约） | 1500 kg |
| 尺寸（L x W x H） | 1654 x 722 x 1452 mm |
| 进气口 | DN 160 |
| 排气口 | DN 63 |
尺寸图
COBRA DS 3181 C
抽速
空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%
市场和应用
显示器
- Load lock 腔体
半导体
- ALD
太阳能
- 电池制造