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真空泵为什么需要预热?
冷凝是任何真空泵的敌人,尤其是在处理水、溶剂或酸等蒸汽时。气镇功能旨在抵消这种情况。通过将受控量的空气引入泵腔体,可以改变蒸汽冷凝点,防止其在真空泵内转变为液体...
2026-03-04 -
真空泵如何支持硅晶片生产?
真空泵在半导体制造工艺中发挥关键作用,为沉积、蚀刻、PVD、光刻、等离子刻蚀和 ALD 等工艺维持超洁净环境。通过确保稳定的真空环境,真空泵能够有效防止颗粒污染,...
2026-03-04 -
为什么半导体行业的真空泵需要高度专业化?
半导体行业的真空度必须根据具体应用、设备类型和工艺配方进行精确选择。每项沉积和蚀刻工艺——包括 ALD、 PECVD、 CVD 和 PVD——都需要精确控制的真空度与...
2026-03-04 -
中芯国际2台爱发科分子泵UTM3303顺利交货
一、项目概况本次维修项目涉及2台爱发科分子泵UTM3303,设备由重庆某半导体制造企业于2025年10月送抵我司。该型号分子泵作为半导体生产环节中的核心真空设备,主要应用于...
2026-03-04