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真空测量技术
HiCube Neo RGA 残余气体分析系统
HiCube Neo RGA
残余气体分析系统
安全
集成 DigiLine 全量程变送器，用于监测总压并保护灯丝
灵活
便携式，配件范围广泛，例如不同质量范围、腔体加热、运输箱
结构紧凑
集成涡轮分子真空泵机组和质谱仪
技术规格
| 技术参数 | HiCube Neo RGA（QMG 250 F1） | HiCube Neo RGA（QMG 250 F2） | HiCube Neo RGA（QMG 250 F3） | HiCube Neo RGA（QMG 250 M1） | HiCube Neo RGA（QMG 250 M2） | HiCube Neo RGA（QMG 250 M3） |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 重量范围 | 1 - 100 u | 1 - 200 u | 1 - 300 u | 1 - 100 u | 1 - 200 u | 1 - 300 u |
| 检测极限 | 4 · 10⁻¹³ hPa (mbar) | 5 · 10⁻¹³ hPa (mbar) | 7 · 10⁻¹³ hPa (mbar) | 4 · 10⁻¹³ / 3 · 10⁻¹⁵ hPa (mbar) | 5 · 10⁻¹³ / 4 · 10⁻¹⁵ hPa (mbar) | 7 · 10⁻¹³ / 5 · 10⁻¹⁵ hPa (mbar) |
| 空气灵敏度 | 5 · 10⁻⁴ A/hPa (mbar) | 4 · 10⁻⁴ A/hPa (mbar) | 3 · 10⁻⁴ A/hPa (mbar) | 5 · 10⁻⁴ A/hPa (mbar) | 4 · 10⁻⁴ A/hPa (mbar) | 3 · 10⁻⁴ A/hPa (mbar) |
| 最大工作压力 | 5 · 10⁻⁴ hPa (mbar) | 5 · 10⁻⁴ hPa (mbar) | 5 · 10⁻⁴ hPa (mbar) | 5 · 10⁻⁴ / 5 · 10⁻⁵ hPa (mbar) | 5 · 10⁻⁴ / 5 · 10⁻⁵ hPa (mbar) | 5 · 10⁻⁴ / 5 · 10⁻⁵ hPa (mbar) |
| 杆系统 | 直径 6 mm，长度 125 mm | 直径 6 mm，长度 125 mm | 直径 6 mm，长度 125 mm | 直径 6 mm，长度 125 mm | 直径 6 mm，长度 125 mm | 直径 6 mm，长度 125 mm |
| 分析仪操作温度 | 200 °C | 200 °C | 200 °C | 200 °C（使用 SEM 时最高 150°C） °C | 200 °C（使用 SEM 时最高 150°C） °C | 200 °C（使用 SEM 时最高 150°C） °C |
| 电子元件操作温度 | 5 - 50 °C | 5 - 50 °C | 5 - 50 °C | 5 - 50 °C | 5 - 50 °C | 5 - 50 °C |
| 烘烤温度 | 300 °C（已移除电子元件） | 300 °C（已移除电子元件） | 300 °C（已移除电子元件） | 300 °C（已移除电子元件） | 300 °C（已移除电子元件） | 300 °C（已移除电子元件） |
| 尺寸（L x W x H） | 446 x 583 x 434 mm | 446 x 583 x 434 mm | 446 x 583 x 434 mm | 446 x 583 x 434 mm | 446 x 583 x 434 mm | 446 x 583 x 434 mm |
| 连接法兰 | DN 16 ISO-KF / DN 40 CF-F* | DN 16 ISO-KF / DN 40 CF-F* | DN 16 ISO-KF / DN 40 CF-F* | DN 16 ISO-KF / DN 40 CF-F* | DN 16 ISO-KF / DN 40 CF-F* | DN 16 ISO-KF / DN 40 CF-F* |
| 检漏仪 | 法拉第 | 法拉第 | 法拉第 | C-SEM，法拉第 | C-SEM，法拉第 | C-SEM，法拉第 |
| 对相邻质量的影响 | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm |
| 10% 峰高时的分辨率 | 0.5 - 2.5 u | 0.5 - 2.5 u | 0.5 - 2.5 u | 0.5 - 2.5 u | 0.5 - 2.5 u | 0.5 - 2.5 u |
| 停留时间 | 1 ms - 16 s/u | 1 ms - 16 s/u | 1 ms - 16 s/u | 1 ms - 16 s/u | 1 ms - 16 s/u | 1 ms - 16 s/u |
| 重量（约） | 22 - 27** kg | 22 - 27** kg | 22 - 27** kg | 22 - 27** kg | 22 - 27** kg | 22 - 27** kg |
| 电源电压 | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC |
| 接口 | 以太网 | 以太网 | 以太网 | 以太网 | 以太网 | 以太网 |
| 峰高比的重现性 | ± 0.5 % | ± 0.5 % | ± 0.5 % | ± 0.5 % | ± 0.5 % | ± 0.5 % |
| 功耗 | 最大值 240 W，不加热，最大 400 W，带加热装置 | 最大值 240 W，不加热，最大 400 W，带加热装置 | 最大值 240 W，不加热，最大 400 W，带加热装置 |
尺寸图
HiCube Neo RGA
市场和应用
电池
- 泄漏检测和 EoL 测试（主控）
化学品
- 实验室真空
- 泄漏检测
医疗
- 实验室真空
制药与生物技术
- 实验室真空
- 泄漏检测
研发
- 高能物理
- 超高真空
- 泄漏检测
- 实验室真空
技术气体
- 液化
- 真空隔热
- 气体运输
- 装瓶
配件
备用电子器件
备用离子源
备用灯丝
备用分析仪
备用真空计
备用真空泵或真空泵维修套件
备用进气阀
质量范围
灯丝材料
各种前级泵
各种真空计
腔体加热
配备 Pfeiffer MassSpec 软件的计算机
截止阀
校准气体选配
运输箱
移动推车